微量氧分析儀分為兩種分析原理:分別為燃料電池法微量氧分析儀和氧化鋯微量氧分析儀

注意事項

應確保密封，微小的泄漏都會使環境空氣中的氧擴散來，從而使測量數值偏。

雖然在測量中，樣氣壓力大于環境壓力，但樣氣中的氧是微量的，根據法拉利定律，氧的分壓與其體積含量成正比，大氣中含有約為21%的氧，與以PPM計算濃度的樣氣的氧分壓相差倍左右，因而氣樣中微量氧的分壓遠低于大氣中的氧分壓，當出現泄漏時，大氣中的氧便會從泄漏位迅速擴散來。

還有，取樣管線應盡可能短些，接頭盡可能少，要保證接頭及閥門密封良好，管線連接畢后，應做氣密性檢查。

氣密性檢查的要求:0.25MPAm測試壓力下，30分鐘，壓降不大于0.01MPA。